워크의 자세를 자유자재로 변환할 수 있어 고레벨의 작업이 가능.
고가반, 6축 수직다관절 로봇이므로 수평 다관절 타입 로보트에서는 대응이 곤란한, 워크의
자세를 자유자재로 변경할 수 있어 반전, 수평•수직, 경사 이재 등의 고레벨의 핸들링 작업이
가능합니다. 주변장치와의 간섭 회피 등도 간단하게 행할 수 있어, 유연한 시스템의 구축이 가능합니다.
액정 칼라 필터나 유리 기판의 수송용 케이스에의 수납, 토출 외, 공정내 카셋트나 각종 제조
장치에 유리 기판 이재•투입•반출 등에 대응할 수 있습니다.
최대 750×950 mm급 사이즈까지의 액정 유리 기판 반송에 대응 가능합니다.
넓은 동작 범위, 공간 절약으로 자유로운 시스템 레이아웃이 가능.
넓은 동작 범위(최대 리치 1658 mm)에 가세해 로보트 본체 선회부의 간섭 반경(R314mm)이 작기 때문에,
중형 사이즈의 유리 기판 이재, 각종 제조 장치에 투입•반출이 가능한 외 , 공간절약으로 자유로운
시스템 레이아웃을 실현할 수 있어 클린 룸을 유효하게 이용할 수 있습니다.
크린 환경하에 대한 핸들링 어플리케이션의 충실.
로보트 내부에 손목까지의 장비 케이블 12심과 에어 5 계통(급기 4 계통, 배기 1 계통)을 내장하고
있으므로, 로보트 암과의 간섭이 없는 배선•배관이 가능합니다. 구동시에 있어서 찌꺼기 및 먼지등을
클린 룸내에 발생 시키지 않습니다.
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Model |
CR20 (Clean Room) |
Mounting |
F |
Degrees of Freedom |
6 |
Payload |
20 kg / 44.1 Ib |
Vertical Reach |
2,650 mm / 104.3" |
Horizontal Reach |
1,658 mm / 65.3" |
Repeatability |
±0.08 mm / 0.003" |
Maximum Motion Range |
S-Axis(Turning/Sweep) |
±180° |
S-Axis(Wall Mount) |
n/a |
L-Axis(Lower Arm) |
+120° / -90° |
U-Axis(Upper Arm) |
+90° / -80° |
R-Axis(Wrist Roll) |
±165° |
B-Axis(Bend/Pitch/Yaw) |
+230° / -50° |
T-Axis(Wrist Twist) |
±360° |
7th-Axis |
n/a |
Maximum Speed |
S-Axis |
165°/s |
L-Axis |
165°/s |
U-Axis |
165°/s |
R-Axis |
200°/s |
B-Axis |
200°/s |
T-Axis |
200°/s |
7th-Axis |
n/a |
Approximate Mass |
280 kg / 617.4 Ib |
Power Consumption |
2.8 kVA |
Allowable Moment |
R-Axis |
39.2 N • m |
B-Axis |
31.4 N • m |
T-Axis |
29.4 N • m |
Allowable Moment of Inertia |
R-Axis |
3.0 kg • m2 |
B-Axis |
3.0 kg • m2 |
T-Axis |
2.2 kg • m2 |
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Mounting : F=FLOOR, W=WALL, C=CEILING, S=SHELF
N/A=NOT APPLICABLE |
▶ 정보 업데이트 : 2009-08-26
▶ 이 정보는 제조사의 정책에 의해 변경될 수 있습니다.
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